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微系统近年来迅速发展,本书对MEMS技术的基础进行了深入的观察,介绍了微系统工程的发展,市场,产品,微系统所涉及的各工程学科的基础知识、尺度效应、微系统工程的材料、微制造和微加工工艺及微系统的设计
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