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在薄膜厚度监控系统的光电检测中, 针对信号特征, 提出了微弱信号的双锁相检测思想, 并研制了一套多级放大器和双锁相放大器. 其输出信噪比≥500, 静态漂移率≤7% öh.膜厚监控测试实验肯定了该思想和电路设计.
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