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电容传感器具有测量分辨力和测量准确度高等特点,在很多场合被作为高精测量仪器使用,但因其自身缺陷,只能使用在微小位移的测量中,无法满足大位移测量的要求。80年代容栅传感器的出现,彻底的改变了这种情况。借鉴了光栅的结构形式,工程师把电容做成栅型,大大提高了测量的精度和范围,实现了大位移高精度测量。
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