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MEMS 技术显示了其在微波领域的巨大应用潜力。利用RF MEMS 开关制造的RF MEMS 移相器具有插损小、功耗低、宽带宽、体积小等优点，因此成为研究的热点。本文对国际上R F M E M S的研究和发展进行了比较全面的综述，并介绍了DMTL 移相器，该移相器在DC~30GHz 范围内具有较好的线性度，在20GHz 时相移为0°/11.6° /32.6°/48.5°，反射损失好于-11dB，插损小于-1.8dB。最后分析了各种移相器的特点和设计、制造的难点，对M E M S 移相器的发展进行了展望。
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